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電子級用水標準GB11446-1-89

日期:2022-05-30 09:42
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摘要: 電子級用水標準GB11446-1-89 化學指標單位: μg/L 等 級 項 目 EW—Ⅰ EW—Ⅱ EW—Ⅲ EW—Ⅳ ...
電子級用水標準GB11446-1-89
化學指標單位: μg/L
等 級
項 目
EW—Ⅰ
EW—Ⅱ
EW—Ⅲ
EW—Ⅳ
EW—Ⅴ
電阻率MΩ.cm.(25℃)
18(*小17)
15(*小12)
10(*小8)
≥2
≥0.5
大于1μm微粒數
   1
5
   10
100
500
大于0.5μm微粒數
  100
300
  500
1000
2000
**個數,*大值 個/mL
   1
5
   10
50
100
總有機碳含量,*大值
  50
100
  200
1000
1000
二氧化硅總含量,*大值
   2
20
   50
100
1000
氯含量,*大值
  0.5
2
   10
100
500
銅含量,*大值
  0.2
2
    5
50
500
鉀含量,*大值
  0.5
5
   10
100
1000
鈉含量,*大值 0
  0.5
6
   10
200
500
鋅含量,*大值
  0.2
2
   10
100
500
鋁含量,*大值
  0.5
5
   10
100
500
鐵含量,*大值
  0.5
5
   10
100
500
鈣含量,*大值
  0.5
5
   10
100
500
 

滬公網安備 31011402005175號

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